北京中科刘文斌 http://baidianfeng.39.net/a_yqhg/201217/8505691.html

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据路透社报道，今天，全球第二大内存芯片制造商SK海力士表示，已与ASML公司签署了一份为期五年，价值4.8万亿韩元（43.4亿美元）的采购合同，内容主要涉及用于制造芯片的极紫外（EUV）扫描仪。

SK海力士在一份监管文件中说，这笔交易是针对该芯片制造商计划通过下一代工艺大规模生产芯片的。

就在本月初，SK海力士宣布，为应对市场需求回升，该公司将扩充产能规模，其新建的位于首尔南部利川市（Icheon）的M16产线预计今年6月启动量产，以进一步扩大DRAM供应。

据韩联社报导，SK海力士的M16厂已经竣工。SK海力士透露，利川M16厂将从今年开始进行试产，并视情况调整，预计6月就能完成试产，接着正式展开大规模量产。

资料显示，年12月，SK海力士开始动工兴建M16晶圆厂，斥资高达15兆韩圜（约亿美元），将采用极紫外光（EUV）光刻技术，生产第四代10nm级制程（1a纳米）的DRAM产品。

SK海力士称，已确保EUV的供应无虞，并正在与EUV制造商就EUV设备的长期供应进行密切讨论。根据规划，M16厂的EUV设备初期将用于生产第四代10纳米级DRAM，之后全面用于生产第五代10nm级（1b纳米）DRAM。

截至年，以第三代10nm级（1z纳米）和第二代10nm级（1y纳米）制程打造的DRAM，约占SK海力士DRAM总产量的40%，计划今年将比率提升到至少75%，同时启动1a纳米制程，产能将比1z纳米制程高出40%。

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